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Self-Aligned Double Patterning Friendly Configuration for Standard Cell Library Considering Placement

机译:标准单元的自对准双图案友好配置   图书馆考虑安置

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摘要

Self-aligned double patterning (SADP) has become a promising technique topush pattern resolution limit to sub-22nm technology node. Although SADPprovides good overlay controllability, it encounters many challenges inphysical design stages to obtain conflict-free layout decomposition. In thispaper, we study the impact on placement by different standard cell layoutdecomposition strategies. We propose a SADP friendly standard cellconfiguration which provides pre-coloring results for standard cells. Theseconfigurations are brought into the placement stage to help ensure layoutdecomposability and save the extra effort for solving conflicts in laterstages.
机译:自对准双图案(SADP)已成为一种有前途的技术,其突破了22纳米以下技术节点的图案分辨率限制。尽管SADP提供了良好的覆盖可控性,但它在物理设计阶段遇到了许多挑战,以获得无冲突的布局分解。在本文中,我们研究了不同标准单元格布局分解策略对布局的影响。我们提出了SADP友好的标准单元配置,该配置可为标准单元提供预着色结果。这些配置进入放置阶段,以帮助确保布局可分解性,并节省额外的精力来解决后期的冲突。

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